Termoparto do perfil semicondutor

Tipo: s, r
Fio ou imita diâmetro: φ {{0}}. 35 ~ 0.5
Temp de trabalho (grau): 0 ~ 1100
Número de pontos: 3 ~ 6 pontos
Aplicação: Controle de temperatura para o processo de fabricação de células fotovoltaicas (PV).

Aplicativo

O forno de difusão de oxidação é um equipamento -chave de processo para a produção de células fotovoltaicas. Ele mistura e difunde quantidades de rastreamento de boro, fósforo e outros elementos na bolacha de silício em altas temperaturas para preparar junções PN e compõe circuitos integrados. Também pode ser usado para preparar filmes SiOx na superfície da bolacha de silício para proteger as bolachas. É comum usar termopares que medem as partes interno e externo do forno para controlar a temperatura interna do forno de difusão que poderia realizar o processo de oxidação. Cada zona de temperatura especificada possui um termopar externo e interno para garantir que os resultados da medida sejam confiáveis. Os termopares de quartzo de metal nobre multiponto são usados para medir a temperatura da wafer, geralmente possui 3 ~ 9 pontos de medição, representando a temperatura da wafer com precisão.

Descrição dos produtos

Para esse fim, a Duchina desenvolveu técnicas e produtos proprietários, como termopares de quartzo de metal nobre multiponto para medição de temperatura de toda a seção no forno de difusão, um dispositivo de calibração para termopar multi-ponto.

O produto possui algumas características de medição de temperatura confiável, alta precisão, boa estabilidade, resposta térmica rápida, anti-interferência, resistência ao impacto de alta e baixa temperatura, vida útil longa e assim por diante. Os parâmetros técnicos do termopar do perfil de semicondutores são os seguintes:

Parâmetros técnicos	Termoparto do perfil semicondutor
Tipo	S,R
Diâmetro de arame ou imita	φ0.35~0.5
Temperada de trabalho (grau)	0~1100
Precisão (grau)	±1.0
Comprimento do tubo de proteção (mm)	Menor ou igual a 4000
Diâmetro do tubo de proteção (mm)	φ12~18
Material de tubo de proteção	Quartzo
Estrutura final quente	Expor
Número de pontos	3 ~ 6 pontos
Rescisão	Pequeno conector
Fio de compensação	Sc {{0}} × 0.5fpf
Características da estrutura	Para montar T/C em combinação para cada ponto é bastante difícil